Основният компонент на анализатора за влажност и кислород е сензорът за кислород от циркониев оксид. Този сензор използва електролитните свойства на керамиката от циркониев оксид, за да генерира електродвижеща сила въз основа на разликата в парциалното налягане на кислорода в сензора, като по този начин позволява измерването на концентрацията на кислород. Едновременно с това се използват специфични техники за измерване (като импедансен метод, инфрачервен метод и др.) за точно определяне на съдържанието на влага в газа. Сензорът обикновено включва нагревателно устройство за предотвратяване на кондензация на водни пари в газовата камера, осигурявайки стабилни измервания при висока-температура и висока-влажност среда.
